里程牌！韩国Sunic OLED蒸镀设备获重大突破，可实现2000PPI!

众所周知，OLED作为新型显示领域中最热门的技术路线之一，是我国重点支持的战略性新兴产业。近年来，在发展OLED产业的路上，为实现对三星与LG等韩企的弯道超车，我国京东方、TCL华星与维信诺等OLED面板龙头正在与相关设备厂商合力加速攻关喷墨打印与光刻像素图案化等量产工艺。

【资料图】

今年6月，韩国显示产业协会创新显示创新工艺项目组主任Kim Yong－seok曾表示，对通过半导体光刻工艺制造OLED面板的技术持应持谨慎态度，因为今年SID上特别多的企业宣布了使用半导体光刻工艺而不使用FMM的OLED技术。其中就以中国维信诺的ViP和日本JDI的eLEAP为代表性技术。

对整个行业而言，制造工艺的路线多元化代表了当前产业正在走持续创新的发展之路，但对于企业而言，工艺路线的多元化则代表着“机会与危机”，如何权衡利弊、统筹兼顾是每个企业都要面临的抉择。

Sunic Systems开发的高分辨率对准器

近日，据韩媒ETnews报道，韩国OLED蒸镀设备制造商Sunic Systems开发出了一种可以在玻璃基板上实现制造高分辨率OLED面板的设备（对准器）。据介绍，这是一款可以制造比现有分辨率最高提高4倍以上的OLED设备，可大幅提高虚拟现实和扩展现实（VR，XR）设备OLED生产效率和性能。

9月7日，Sunic Systems表示，公司已开发出可以实现OLED像素密度在2000PPI以上的对准器。对准器是将玻璃基板和有机物蒸镀时使用的掩膜板进行精密对齐的设备。Sunic Systems在第六代半切工艺上成功实现了0．7微米的对齐精度。

考虑到目前对准器设备的精度为数微米级别，因此可将Sunic Systems本次的突破看成是一次成功的、重大的技术升级。要知道，2020年之前，垄断OLED蒸镀机市场的日本佳能TOKKI CANON靠的就是5微米内的误差控制。

由于对齐精度的提高，未来在大型玻璃基板上将可以实现2000PPI级高分辨率的OLED显示。Sunic Systems表示，通过这种方式可以克服VR、XR设备的显示限制。目前，VR、XR用的OLED通常只达到500～600 PPI的水平。

此外，笔者在这里还想聊一下维信诺的VIP技术，据其介绍称，VIP技术可以使AMOLED有效发光面积（开口率）从传统的29％增加至69％，并将像素密度提升至1700PPI以上。从像素密度上来看的话，这两技术路线还是挺接近的。

Sunic Systems相关人士表示，以前，OLED面板应用在VR、XR等屏幕中时，由于分辨率有限，因此只能在半导体基板上制作。但现在，新设备可以极大地提升PPI，因此则可以在大面积的玻璃基板上制作VR、XR用的OLED面板，这样不仅可以降低生产成本，同时还可以增大显示屏尺寸，简化复杂的光学系统零件，减轻最终机器的重量。

如果将该技术应用于600PPI以下的现有量产产品，就可以实现增加发光面积的像素设计，并有望因此提高OLED的使用寿命。

此次技术是通过韩国产业通商资源部支援的“在6GH级基板上实现1微米以下精度的排序（线）用视觉及垂直核心精密零件技术开发”国策课题进行的。Sunic Systems确保了△超精密双线键测量视觉模块△高精度Z轴模块△高张力静电尺（ESC）等技术。

Sunic Systems表示：“此次技术开发进一步确保了实现高分辨率OLED的核心技术，巩固了生产元宇宙用OLED的蒸镀技术产品组合多元化和市场领导力。”

另外，Sunic Systems上半年还从中国客户那里获得了利用硅晶片的OLEDoS量产用蒸镀设备的订单，预计明年第一季度交货。OLEDoS是在半导体基板上制作OLED的技术，是驱动芯片和OLED一体的显示器。

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